释
离子注入机
lí zi zhù rù jī · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄓㄨˋ ㄖㄨˋ ㄐㄧ
修撰于 2026-06-29 20:06:20
音义
| 拼音 | lí zi zhù rù jī |
|---|---|
| 字母 | li zi zhu ru ji |
| 首字母 | lzzrj |
| 注音 | ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄓㄨˋ ㄖㄨˋ ㄐㄧ |
| 注音符号 | ㄌㄧ ㄗ ㄓㄨ ㄖㄨ ㄐㄧ |
广训
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。