直流溅射

zhí liú jiàn shè · ㄓˊ ㄌㄧㄡˊ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ

修撰于 2026-06-30 14:54:26

拼音zhí liú jiàn shè
字母zhi liu jian she
首字母zljs
注音ㄓˊ ㄌㄧㄡˊ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ
注音符号ㄓ ㄌㄧㄡ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ

广

直流溅射是指利用直流辉光放电产生的离子轰击靶材进行溅射镀膜的技术。直流溅射装置主要由真空室、真空系统和直流溅射电源构成。