释
正性光刻胶
zhèng xìng guāng kè jiāo · ㄓㄥˋ ㄒㄧㄥˋ ㄍㄨㄤ ㄎㄜˋ ㄐㄧㄠ
修撰于 2026-07-01 02:02:31
音义
| 拼音 | zhèng xìng guāng kè jiāo |
|---|---|
| 字母 | zheng xing guang ke jiao |
| 首字母 | zxgkj |
| 注音 | ㄓㄥˋ ㄒㄧㄥˋ ㄍㄨㄤ ㄎㄜˋ ㄐㄧㄠ |
| 注音符号 | ㄓㄥ ㄒㄧㄥ ㄍㄨㄤ ㄎㄜ ㄐㄧㄠ |
广训
正性光刻胶也称为正胶。正性光刻胶树脂是一种叫做线性酚醛树脂的酚醛甲醛，提供光刻胶的粘附性、化学抗蚀性，当没有溶解抑制剂存在时，线性酚醛树脂会溶解在显影液中，感光剂是光敏化合物，最常见的是重氮萘醌（DNQ）。在曝光前，DNQ是一种强烈的溶解抑制剂，降低树脂的溶解速度。在紫外曝光后，DNQ在光刻胶中化学分解，成为溶解度增强剂，大幅提高显影液中的溶解度因子至100或者更高。这种曝光反应会在DNQ中产生羧酸，它在显影液中溶解度很高。正性光刻胶具有很好的对比度，所以生成的图形具有良好的分辨率。
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