释
衍射光学元件
yǎn shè guāng xué yuán jiàn · ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ
修撰于 2026-07-01 06:09:46
音义
| 拼音 | yǎn shè guāng xué yuán jiàn |
|---|---|
| 字母 | yan she guang xue yuan jian |
| 首字母 | ysgxyj |
| 注音 | ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ |
| 注音符号 | ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ |
广训
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。