低温泵

dī wēn bèng · ㄉㄧ ㄨㄣ ㄅㄥˋ

修撰于 2026-06-30 14:00:19

拼音dī wēn bèng
字母di wen beng
首字母dwb
注音ㄉㄧ ㄨㄣ ㄅㄥˋ
注音符号ㄉㄧ ㄨㄣ ㄅㄥ

广

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。