释
离子铣
lí zi xǐ · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ
修撰于 2026-06-29 18:59:38
音义
| 拼音 | lí zi xǐ |
|---|---|
| 字母 | li zi xi |
| 首字母 | lzx |
| 注音 | ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ |
| 注音符号 | ㄌㄧ ㄗ ㄒㄧ |
广训
离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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