离子束探针

lí zi shù tàn zhēn · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄊㄢˋ ㄓㄣ

修撰于 2026-06-30 22:16:54

拼音lí zi shù tàn zhēn
字母li zi shu tan zhen
首字母lzstz
注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄊㄢˋ ㄓㄣ
注音符号ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ ㄊㄢ ㄓㄣ

广

离子束探针,以聚焦很细(1~2微米)的高能(10~20千电子伏)一次离子束作为激发源照射样品表面,使其溅射出二次离子并引入质量分析器,按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器,聚焦很细,为1~2微米。