释
磁控溅射法
cí kòng jiàn shè fǎ · ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ
修撰于 2026-07-01 01:56:33
音义
| 拼音 | cí kòng jiàn shè fǎ |
|---|---|
| 字母 | ci kong jian she fa |
| 首字母 | ckjsf |
| 注音 | ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ |
| 注音符号 | ㄘ ㄎㄨㄥ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ ㄈㄚ |
广训
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。