涡轮分子泵

wō lún fēn zi bèng · ㄨㄛ ㄌㄨㄣˊ ㄈㄣ ㄗ˙ ㄅㄥˋ

修撰于 2026-07-01 05:37:42

拼音wō lún fēn zi bèng
字母wo lun fen zi beng
首字母wlfzb
注音ㄨㄛ ㄌㄨㄣˊ ㄈㄣ ㄗ˙ ㄅㄥˋ
注音符号ㄨㄛ ㄌㄨㄣ ㄈㄣ ㄗ ㄅㄥ

广

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。