释
对准精度
duì zhǔn jīng dù · ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ
修撰于 2026-06-30 00:08:08
音义
| 拼音 | duì zhǔn jīng dù |
|---|---|
| 字母 | dui zhun jing du |
| 首字母 | dzjd |
| 注音 | ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ |
| 注音符号 | ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ |
广训
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。