聚焦环

jù jiāo huán · ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ

修撰于 2026-07-01 13:55:26

拼音jù jiāo huán
字母ju jiao huan
首字母jjh
注音ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ
注音符号ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢ

广

聚焦环和等离子体处理装置,在可以提高处理的面内均匀性的同时,与现有技术比较,还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。